一、设备简介

1.设备名称：台阶仪

2.型号：AlphaStep D500系列

3.生产商：AlphaStep

4.购买日期：2016年10月

二、功能

1.用途

AlphaStep系列探针轮廓仪是一台计算机控制的高灵敏的表面轮廓仪，可测量台阶高度，粗糙度和波纹度。

2.设备参数

（1）垂直测量范围可从低于10埃到超过1毫米，2.5量程下垂直分辨率优于1埃，1.2mm量程下优于100nm；

（2）最大到120,000的数据点保证了水平分辨率是由探针直径限制而非数据点数目；

（3）适用于直径200mm内，高度30mm内的样品。