一、设备简介

1.设备名称：薄膜应力测试

2.型号：FST1000型

3.生产商：深圳速普仪器有限公司

4.购买日期：2020年10月

二、功能

1.用途

FST1000薄膜应力测量仪适合于要求快速测量常规薄膜残余应力。

2.设备参数：

（1）基本原理：曲率法Stoney公式

（2）薄膜应力测试范围：5 MPa～50GPa

（3）曲率半径测试范围：0.3~20 m

（4）薄膜应力计算误差：＜±2%

（5）曲率半径测试误差：＜±1%

（6）测试平台行程：X方向：80mm / Y方向：80mm

（7）样品尺寸：长宽比5:1～10:1的长方形样品

（8）样品定位：自动定位原点

（9）样品校正：可计算校正原始表面不平直影响（对减模式）

（10）主要功能：自动测量采集计算曲率半径和薄膜应力

（11）电源电压：220 VAC电源适配器

（12）电源功耗：280 Watts Maximum

（13）通讯连接端口：USB 2.0

（14）工作温度：0～50ºC